ニュース - 過去数年で完了したチップ MBE プロジェクト

テクノロジー

分子線エピタキシー (MBE) は、結晶基板上に高品質の結晶薄膜を成長させるための新しい技術です。超高真空条件では、必要なあらゆる種類のコンポーネントを備えた加熱ストーブによって蒸気を発生させ、ビーム原子または分子ビームをコリメートした後に形成された穴を通して、単結晶基板の適切な温度に直接入射し、分子ビームを制御します。同時に基板を走査すると、結晶配向層内の分子または原子が基板上に薄膜を形成する「成長」が可能になります。

MBE装置を正常に動作させるには、高純度、低圧、超清浄な液体窒素を装置の冷却室に連続的かつ安定して輸送する必要があります。一般に、液体窒素を供給するタンクの吐出圧力は0.3MPa～0.8MPaです。-196℃の液体窒素は、パイプライン輸送中に容易に蒸発して窒素になります。気液比約 1:700 の液体窒素がパイプライン内でガス化すると、液体窒素の流動空間が大量に占有され、液体窒素パイプラインの末端での通常の流れが減少します。さらに、液体窒素貯蔵タンクには、洗浄されていない破片が存在する可能性があります。液体窒素パイプラインでは、湿った空気の存在も氷スラグの生成につながります。これらの不純物が装置内に放出されると、装置に予期せぬ損傷を引き起こす可能性があります。

したがって、屋外貯蔵タンク内の液体窒素は、高効率、安定性、クリーンな状態で無塵作業場のMBE装置に輸送され、低圧、窒素なし、不純物なし、24時間中断されない、このような輸送制御システムです。認定された製品。

適合するMBE機器

2005 年以来、HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) はこのシステムの最適化と改善を行い、国際的な MBE 装置メーカーと協力してきました。DCA、REBERをはじめとするMBE装置メーカーと当社は協力関係を築いております。DCA や REBER などの MBE 装置メーカーは、多数のプロジェクトに協力してきました。

Riber SA は、化合物半導体の研究および産業用途向けに分子線エピタキシー (MBE) 製品および関連サービスを提供する世界有数のプロバイダーです。Riber MBE デバイスは、非常に高度な制御で基板上に非常に薄い材料層を堆積できます。HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) の真空装置には Riber SA が装備されています。最大の装置は Riber 6000、最小の装置は Compact 21 です。良好な状態であり、顧客からも認められています。

DCA は世界をリードする酸化物 MBE です。1993 年以来、酸化技術、抗酸化基質加熱、抗酸化源の体系的な開発が行われてきました。このため、多くの主要な研究室は DCA 酸化物技術を選択しています。複合半導体 MBE システムは世界中で使用されています。HL 極低温装置 (HL CRYO) の VJ 液体窒素循環システムと DCA の複数モデルの MBE 装置は、モデル P600、R450、SGC800 など、多くのプロジェクトでのマッチング経験があります。