ニュース - 過去数年間に完了したチップMBEプロジェクト

テクノロジー

分子ビームエピタキシー、またはMBEは、結晶基質上で結晶の高品質の薄膜を栽培するための新しい技術です。超高真空条件では、暖房ストーブによると、あらゆる種類の必要なコンポーネントが装備されており、ビーム原子または分子ビームをコリメートした後に形成された穴を介して蒸気を生成し、単結晶基板の適切な温度に直接注入し、分子ビームを制御します。基質スキャンを同時にスキャンすると、結晶アライメント層の分子または原子を作って、基質の「成長」に薄膜を形成できます。

MBE機器の通常の動作のために、高純度、低圧、および超クリーン液体窒素は、装置の冷却室に連続的かつ安定して輸送する必要があります。一般に、液体窒素を提供するタンクは、-196℃の液体窒素が0.3MPaから0.8MPaの間の出力圧を持ちます。パイプライン輸送中に窒素に容易に蒸発します。約1：700のガス液体比を持つ液体窒素がパイプラインでガス化されると、大量の液体窒素流空間を占有し、液体窒素パイプラインの端で通常の流れを減らします。 In addition, in the liquid nitrogen storage tank, there is likely to be debris that has not been cleaned. In the liquid nitrogen pipeline, the existence of wet air will also lead to the generation of ice slag. If these impurities are discharged into the equipment, it will cause unpredictable damage to the equipment.

したがって、屋外貯蔵タンクの液体窒素は、高効率、安定性、清潔で、ほこりのないワークショップのMBE機器に輸送され、低圧、窒素なし、不純物、24時間途切れない、そのような輸送制御システムはa qualified product.

マッチングMBE機器

2005年以来、HL Cryogenic Equipment（HL Cryo）は、このシステムを最適化および改善し、国際的なMBE機器メーカーと協力しています。 MBE equipment manufacturers, including DCA, REBER, have cooperative relations with our company. MBE equipment manufacturers, including DCA and REBER, have cooperated in a large number of projects.

Riber SAは、分子ビームエピタキシー（MBE）製品および複合半導体研究および産業用途向けの関連サービスの大手グローバルプロバイダーです。 Riber MBEデバイスは、非常に高いコントロールを備えた基板上に非常に薄い材料の層を堆積させることができます。 HL極低温機器（HL Cryo）の真空機器には、最大の機器がRiber 6000で、最小の装備が装備されています。

DCAは、世界有数の酸化物MBEです。 1993年以来、酸化技術の体系的な開発、抗酸化基質加熱、抗酸化源が実施されています。このため、多くの主要な研究所がDCA酸化物技術を選択しています。 Composite semiconductor MBE systems are used around the world. HL極低温装置（HL Cryo）のVJ液体窒素循環システムとDCAの複数のモデルのMBE機器は、モデルP600、R450、SGC800など、多くのプロジェクトで一致する経験があります。