テクノロジー
分子ビームエピタキシー、またはMBEは、結晶基質上で結晶の高品質の薄膜を栽培するための新しい技術です。超高真空条件では、暖房ストーブによると、あらゆる種類の必要なコンポーネントが装備され、ビーム原子または分子ビームをコリメートした後に形成された穴を介して蒸気を生成し、単結晶基板の適切な温度に直接注入し、分子ビームを制御して、同じ時期にサブストレートのサブストレート層を覆うサブストレート層になります。 "成長"。
MBE機器の通常の動作のために、高純度、低圧、および超クリーン液体窒素は、装置の冷却室に連続的かつ安定して輸送する必要があります。一般に、液体窒素を提供するタンクは、-196℃の液体窒素が0.3MPaから0.8MPaの間の出力圧を持ちます。パイプライン輸送中に窒素に容易に蒸発します。約1:700のガス液体比を持つ液体窒素がパイプラインでガス化されると、大量の液体窒素流空間を占有し、液体窒素パイプラインの端で通常の流れを減らします。さらに、液体窒素貯蔵タンクでは、洗浄されていない破片が存在する可能性があります。液体窒素パイプラインでは、湿った空気の存在も氷のスラグの生成につながります。これらの不純物が機器に排出されると、機器に予測不可能な損傷を引き起こします。
したがって、屋外貯蔵タンクの液体窒素は、高効率、安定性、清潔で、ほこりのないワークショップのMBE機器に輸送され、低圧、窒素なし、不純物、24時間の途切れない、そのような輸送制御システムは適格な製品です。



マッチングMBE機器
2005年以来、HL Cryogenic Equipment(HL Cryo)は、このシステムを最適化および改善し、国際的なMBE機器メーカーと協力しています。 DCA、ReberなどのMBE機器メーカーは、当社と協力的な関係を持っています。 DCAやReberを含むMBE機器メーカーは、多数のプロジェクトに協力しています。
Riber SAは、分子ビームエピタキシー(MBE)製品および複合半導体研究および産業用途向けの関連サービスの大手グローバルプロバイダーです。 Riber MBEデバイスは、非常に高いコントロールを備えた基板上に非常に薄い材料の層を堆積させることができます。 HL極低温機器(HL Cryo)の真空機器には、最大の機器がRiber 6000で、最小の装備が装備されています。
DCAは、世界有数の酸化物MBEです。 1993年以来、酸化技術の体系的な開発、抗酸化基質加熱、抗酸化源が実施されています。このため、多くの主要な研究所がDCA酸化物技術を選択しています。複合半導体MBEシステムが世界中で使用されています。 HL極低温装置(HL Cryo)のVJ液体窒素循環システムとDCAの複数のモデルのMBE機器は、モデルP600、R450、SGC800など、多くのプロジェクトで一致する経験があります。

パフォーマンステーブル
上海技術物理学研究所、中国科学アカデミー |
第11中国電子技術研究所 |
中国科学アカデミー、半導体研究所 |
Huawei |
アリババダモアカデミー |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
蘇州everbrightフォトニクス |
投稿時間:5月26-2021