HL Cryogenicsは、スマートで信頼性の高い極低温移送システムで半導体製造の発展を支援します。当社は、あらゆるものを当社の技術に基づいて構築しています。真空断熱パイプ、真空断熱フレキシブルホース、動的真空ポンプシステム、バルブ、相分離器、そして極低温パイプおよびホースアセンブリのフルラインナップ。チップ技術が縮小し続けるにつれて、精密な冷却がますます重要になっています。—主に液体窒素を使用—温度を一定に保ち、ツールを稼働させ、歩留まりを高く維持するためには、さらに重要になります。当社は、高度な真空断熱と極低温配管を使用して、LNが2システムは最高の効率で稼働し、蒸発はほとんどなく、高い信頼性を誇ります。

私たちの真空断熱パイプ多層断熱材、高真空、放射線遮蔽、低伝導性支持体を用いて熱を遮断します。つまり、極低温液体は長距離にわたって低温を維持できるため、液体窒素が使用される製造工場では大きなメリットとなります。2リソグラフィー、エッチング、計測機器の冷却に使用します。液体を常に飽和状態に保つことで、当社の配管は、繊細なプロセスに悪影響を与える可能性のあるフラッシュやわずかな温度変化を防ぎます。

もっと柔軟性が必要ですか？真空断熱フレキシブルホース丈夫で曲げやすいステンレス鋼製のパッケージで、同じ断熱性を提供します。内部の波型ホース、複数の断熱層、およびそれらの間の高真空空間により、LNが保持されます。2純粋な—ホースが動いても安定。振動を軽減し、クリーンルームにも適しており、配管も容易です。安定した液体窒素2つまり、安定したウェーハ冷却とスムーズな装置統合が実現するということです。

の動的真空ポンプシステム配管ネットワーク全体を超低真空に保つので、'漏れや湿気の侵入を心配する必要がありません。これにより機器が保護され、熱性能が安定するため、稼働時間が長くなり、予期せぬメンテナンスも少なくなります。

当社の真空断熱バルブしっかりとした低熱漏れ制御とスムーズな流れを実現するため、'乱流やベーパーロックは発生しません。これらのバルブを使用すると、正確なLNが得られます。2あらゆるツールへの配信。これにより、エネルギーの無駄を削減し、応答性を向上させます。

真空断熱相分離器フラッシュガスを吸い出し、圧力差を低く保ちます。したがって、LNは2温度は必要な場所に正確に保たれます—チャック冷却、パージ、および熱衝撃処理において非常に重要です。需要が高い場合でも、相分離器は常に均一な液質を確保し、リソグラフィーやウェーハハンドリングに不可欠な役割を果たします。

これらの要素をすべて組み合わせることで—パイプ、ホース、ポンプ、バルブ、相分離器など—HL Cryogenicsは、信頼できるシステムをお届けします。長寿命でメンテナンスの手間が少なく、熱効率も高いシステムです。'当社のソリューションは、半導体製造工場、航空宇宙試験施設、医療研究所、LNGターミナル、研究機関などで活用されています。—厳しい環境下で最高のパフォーマンスが求められる場所すべて。

当社が製造するすべての製品には、真空断熱パイプ、真空断熱フレキシブルホース、動的真空ポンプシステム、バルブ、 そして相分離器圧力、真空、材料、クリーンルームでの使用に関する厳格な安全基準を満たしています。つまり、リスクが低減され、安定性が向上し、精密な温度制御によって歩留まりを向上させる完全な極低温配管システムを実現します。

真空断熱および液化ガスシステムにおける数十年にわたる豊富な実務経験を持つHL Cryogenicsは、最先端のチップメーカーの冷却ニーズを支え続けています。お客様のニーズに合わせたソリューションや、特定のプロジェクトをお持ちですか？HL Cryogenicsにご連絡いただければ、製造に必要な性能と信頼性をご提供いたします。