HL Cryogenicsは、スマートで信頼性の高い極低温搬送システムで半導体製造の発展に貢献しています。私たちは、真空断熱パイプ、真空断熱フレキシブルホース、ダイナミック真空ポンプシステム、バルブ、相分離器極低温パイプとホースアセンブリのフルラインナップ。チップ技術の微細化が進むにつれ、精密冷却—主に液体窒素で—温度を一定に保ち、ツールを稼働させ、高い生産性を維持するために、液体窒素はますます重要になっています。当社では、高度な真空断熱材と極低温配管を使用し、液体窒素を₂システムは最高の効率で稼働し、沸騰はほとんど起こらず、高い信頼性を備えています。

私たちの真空断熱パイプ多層断熱材、高真空、放射線遮蔽、低伝導性支持体を採用し、熱を遮断します。これにより、極低温液体は長距離でも冷たさを保ちます。これは、LNを使用する工場では大きなメリットです。₂リソグラフィー、エッチング、計測機器を冷却します。液体を飽和状態に保つことで、繊細なプロセスに悪影響を与えるフラッシングや微小な温度変動を防ぎます。

もっと柔軟性が必要ですか？真空断熱フレキシブルホース丈夫で曲げやすいステンレス鋼のパッケージで、同じ断熱性を提供します。内部の波形ホース、複数の断熱層、そしてそれらの間の高真空空間により、液体窒素が₂純粋な—ホースが動いても安定します。これにより振動が軽減され、クリーンルームにも適しており、配管も容易になります。安定したLN₂つまり、一貫したウェーハ冷却とスムーズなツール統合が実現します。

そのダイナミック真空ポンプシステム配管ネットワーク全体を超低真空に保つので、'漏れや湿気の侵入を心配する必要がありません。これにより機器が保護され、熱性能が安定するため、稼働時間が長くなり、予期せぬメンテナンスの必要性が減ります。

当社の真空断熱バルブタイトで低熱漏れ制御とスムーズな流れを実現し、'乱流や蒸気ロックが発生しません。これらのバルブにより、正確な液体窒素が得られます。₂すべてのツールに配信されます。これにより、無駄なエネルギーが削減され、応答性が向上します。

真空断熱相分離器フラッシュガスを排出し、圧力差を低く保ちます。つまり、LN₂必要な温度を保ちます—チャックの冷却、パージ、熱衝撃処理に不可欠です。需要が高い場合でも、相分離器により常に均一な液体品質が確保され、リソグラフィーやウェーハハンドリングに不可欠です。

これらすべての要素を組み合わせることで—パイプ、ホース、ポンプ、バルブ、相分離器など—HL Cryogenicsは信頼できるシステムを提供します。長寿命で、メンテナンスが少なく、高い熱効率を維持します。'当社のソリューションは、半導体工場、航空宇宙試験場、医療研究所、LNGターミナル、研究機関などで採用されています。—厳しい条件で最高のパフォーマンスが求められるあらゆる場所。

私たちが製造するすべての製品には、真空断熱パイプ、真空断熱フレキシブルホース、ダイナミック真空ポンプシステム、バルブ、 そして相分離器は、圧力、真空、材料、クリーンルームでの使用に関する厳格な安全基準を満たしています。つまり、リスクの低減、安定性の向上、そして正確な温度制御による歩留まり向上を実現する完全な極低温配管システムです。

HL Cryogenicsは、真空断熱材と液化ガスシステムにおける数十年にわたる実践経験を活かし、最先端の半導体メーカーの冷却ニーズに応え続けています。お客様のニーズに合わせたソリューションや、具体的なプロジェクトをお考えですか？製造現場に必要な性能と信頼性を実現するには、HL Cryogenicsにご相談ください。