半導体およびチップケースとソリューション

HL極低温機器は、半導体およびチップ業界の要件と条件を満たすために、真空断熱配管システムを顧客に提供します。

1.品質管理システム：ASME B31.3圧力配管コード。

2.自動制御機能を備えた複数の極低温液体入口と出口を備えた特別な位相分離器は、ガス放出、リサイクル液体窒素、液体窒素の温度の要件を満たしています。

3.不足したタイムリーな排気設計により、ターミナル機器は常に設計された圧力値内で機能することが保証されます。

4.ガス液バリアは、VIパイプラインの終わりにある垂直VIパイプに配置されます。ガス液液バリアは、ガスシール原理を使用して、VIパイプラインの終わりからVI配管への熱をブロックし、システムの不連続で断続的なサービス中に液体窒素の損失を効果的に減少させます。

5.真空絶縁バルブ（VIV）シリーズによって制御されるVIパイピング：真空絶縁（空気圧）シャットオフバルブ、真空断熱チェックバルブ、真空断熱バルブなどを含む。必須。 VIVは、現場での断熱治療なしで、製造業者のVIPプレハブと統合されています。 VIVのシールユニットは簡単に交換できます。 （HLは顧客によって指定された極低温バルブブランドを受け入れ、HLによって真空断熱バルブを作成します。バルブの一部のブランドとモデルを真空断熱バルブにすることができない場合があります。）

6.内側のチューブ表面の清潔さに追加の要件がある場合は、cleanliness性。顧客は、ステンレス鋼の流出をさらに減らすために、VAまたはEPステンレス鋼パイプをVIP内側パイプとして選択することをお勧めします。

7.Vacuum断熱フィルター：タンクから可能な不純物と氷残留物をきれいにします。

8.数日以上のシャットダウンまたはメンテナンスの後、極低温液体が入力する前にVI配管と端子機器を除去することが非常に必要です。設計では、事前に設計する必要があります。ターミナル機器とバルブなどのVI配管サポート機器のより良い保護を提供します。

9.動的および静的真空断熱（柔軟な）配管システムの両方のスーツ。

10.ダイナミック真空断熱（フレキシブル）配管システム：VI柔軟なホースおよび/またはVIパイプ、ジャンパーホース、真空断熱バルブシステム、位相分離器、動的真空ポンプシステム（真空ポンプ、ソレノイドバルブ、真空ゲージなどを含む。 ）。単一のVIフレキシブルホースの長さは、ユーザーの要件に従ってカスタマイズできます。

11.Various接続タイプ：真空弾性接続（VBC）タイプと溶接接続を選択できます。 VBCタイプは、現場での断熱治療を必要としません。