半導体産業は成長の勢いを失っていません。その成長に伴い、極低温輸送システムへの需要は高まり続けています。特に液体窒素に関しては顕著です。ウェーハプロセッサの冷却、リソグラフィー装置の稼働、高度な試験など、これらのシステムは完璧な動作をしなければなりません。HL Cryogenicsでは、熱損失や振動をほとんど発生させず、安定性と効率性を維持する、堅牢で信頼性の高い真空断熱ソリューションの設計に注力しています。当社のラインナップは以下のとおりです。真空断熱パイプ, フレキシブルホース, ダイナミック真空ポンプシステム, 絶縁バルブ、 そして相分離器—基本的には、チップ工場や研究室から航空宇宙、病院、LNG ターミナルまで、あらゆる極低温配管のバックボーンを形成します。
半導体工場では、液体窒素(LN₂)が絶え間なく稼働しています。フォトリソグラフィーシステム、クライオポンプ、プラズマチャンバー、衝撃試験装置といった重要な装置の温度を一定に保っています。極低温供給に少しでも不具合があると、歩留まり、安定性、あるいは高価な装置の寿命に悪影響を与える可能性があります。だからこそ、私たちは真空断熱パイプ多層断熱材、高真空、そして頑丈な支持構造により、熱漏れを大幅に削減します。これにより、需要が急増しても配管内部の温度を極めて安定に保ち、従来の発泡断熱配管に比べて蒸発率をはるかに低く抑えることができます。厳格な真空制御と綿密な温度管理により、当社の配管は必要な時に必要な場所に液体窒素(LN₂)を正確に供給します。
ツールの接続部分、振動に敏感な場所、機器が移動する場所など、システムを曲げたり曲げたりする必要がある場合があります。それが私たちの真空断熱フレキシブルホースeは…です。同等の耐熱性を備えながら、研磨された波形ステンレス鋼、反射断熱材、真空密閉ジャケットにより、素早く曲げて設置できます。クリーンルームでは、このホースはパーティクルの発生を抑え、湿気を遮断し、ツールを頻繁に変更しても安定した状態を保ちます。硬質パイプとフレキシブルホースを組み合わせることで、堅牢性と柔軟性を兼ね備えたシステムを構築できます。
極低温ネットワーク全体を最高効率で稼働させるために、私たちはダイナミック真空ポンプシステム真空レベルを監視し、セットアップ全体で維持します。真空断熱材は、時間の経過とともに材料や溶接部から微量ガスを自然に吸収します。これを放置すると断熱材が劣化し、熱が侵入して液体窒素(LN₂)の消費量が増加します。当社のポンプシステムは真空状態を強力に維持するため、断熱材の効果は維持され、装置の寿命も長くなります。これは、わずかな温度変化でも生産に影響が出る、24時間稼働のファブにとって非常に重要です。
正確な流量制御のために、当社の真空絶縁バルブsが介入します。超低熱伝導率、ヘリウム試験済みの気密シール、そして乱流と圧力損失を低減する流路を備えた設計です。バルブ本体は完全に断熱されているため、凍結がなく、急速な開閉でもスムーズに動作します。航空宇宙燃料供給や医療用凍結療法といった繊細な用途において、汚染や湿気の問題は一切発生しません。
当社の真空断熱相分離器下流圧力を一定に保ち、液相とガス相の変動を抑えます。真空断熱チャンバー内で液体窒素(LN₂)の蒸発を制御することで相平衡を維持し、高品質な液体のみが装置に供給されます。半導体工場では、ウェハのアライメントやエッチングに悪影響を与える可能性のある温度変化を防止します。研究室では実験の一貫性を保ち、LNGターミナルでは不要な蒸発を抑えることで安全性を高めます。
一緒にすることで真空断熱パイプ、フレキシブルホース、ダイナミック真空ポンプシステム、絶縁バルブ、 そして相分離器HL Cryogenicsは、単一システムに統合された、堅牢性、エネルギー効率、信頼性に優れた極低温移送システムを提供します。これらのシステムは、液体窒素の損失を削減することで運用コストを削減し、外部への結露を防ぐことで安全性を向上させ、加圧時でも安定した性能を発揮します。
投稿日時: 2025年11月19日